高低溫探針臺(LNP）
相關(guān)附件
高低溫探針臺特點
● 產(chǎn)品功能：高低溫探針臺為小尺寸樣品測量電特性，提供高精度可控的測量環(huán)境；
● 使用范圍：幫助精準測量和分析判斷晶圓器件的性能。
● 應(yīng)用領(lǐng)域：提供材料/器件的IV/CV特性測試，LD/LED/PD的光強/波長測試，射頻特性器件失效分析，芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試等技術(shù)解決方案；
● 定制服務(wù)：定制樣品臺和測量方式；
● 自動控溫：PID自整定連續(xù)多點控溫。
真空探針臺技術(shù)參數(shù)：
● 外形尺寸：長650mm*寬650mm*高1300mm；
● 溫度范圍：-196~400℃（環(huán)境溫度）；
● 制冷加熱方式：液氮制冷，電阻加熱；
● 樣品臺尺寸：≤φ100mm；
● 有效高度：40mm；
● 真空度：機械泵≤10Pa，分子泵≤5.0 e-3Pa；
● 氣路：1-2路；
● 溫度傳感器：PT100；
● 控溫方式：PID線型調(diào)節(jié)；
● 控溫精度：±0.1℃；
● 最大升溫速率：80℃/min（RT到100℃）；
● 最大降溫速率：50℃/min（RT到-100℃）；
● XYZ軸行程：50mm*50mm*10mm；
● 探針結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)；
● 移動精度：0.01mm；
● 線纜：同軸線/射頻線；
● 探針類型：鎢探針（類型可選）；
● 接頭類型：BNC/鱷魚夾/接線端子；
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