一、實驗室概況：

　　本實驗室旨在薄膜材料領域，建設國內首家功能薄膜材料物理性能檢測技術研究基地，助推功能薄膜材料的研究與發展，為湖北省乃至整個國家的產業轉型升級提供保障平臺，尤其是工業時代向信息時代的轉型升級。

　　湖北省工程實驗室主要包括以下幾個實驗室：

　　1、薄膜材料熱分析實驗室

　　2、薄膜材料樣品制備與加工實驗室

　　3、薄膜材料電磁分析實驗室

　　4、薄膜材料力學分析實驗室

　　5、薄膜材料光學分析實驗室

二、實驗室情況簡介

　　（1）薄膜材料熱分析實驗室

　　材料熱物性是對特定熱過程進行基礎研究、分析計算和工程設計的關鍵參數，是材料最基本的性能之一，在科學研究、工程設計、工業生產等領域應用十分廣泛，也是各行業節能技術發展的基礎。

　　薄膜材料熱物性分析測試實驗室是對薄膜材料熱物性的重要特征參量，如：熱導系數、熱擴散率、比熱容、熱膨脹系數、發射率、熱流密度等進行測量。評價薄膜材料的相變特性，熱穩定性，滿足納米科技、微電子機械系統（MEMS）、低維材料、納米生物醫藥等領域高新技術迅猛發展的需要。

　　（2）薄膜材料樣品制備與加工實驗室

　　實驗室為薄膜材料性能檢測提供制樣準備，以滿足其他性能檢測實驗室儀器的檢測需要。實驗室擁有薄膜制備儀器：磁控濺射鍍膜儀、離子束濺射鍍膜系統?？梢灾苽涓鞣N薄膜：陶瓷氧化物、氮化物膜、金屬多層膜，以及各種超晶格；同時，可合成納米管、納米粉末，以及量子點。精密切割機、研磨拋光機、光刻機對塊體和薄膜樣品表面進行微加工處理，滿足不同的測樣要求。

　　（3）薄膜材料電磁性能測試實驗室

　　薄膜材料電學、磁學性能測試實驗室主要是為了滿足薄膜材料磁學性能、電學性能及微觀測試。測量參數有：電阻率、載流子濃度、遷移率、磁矩、電滯回線等。實驗室主要配備：薄膜變溫電阻測試儀、霍爾效應測試儀、鐵電分析儀、綜合物性測量系統、磁學測試系統等。

　　（4）薄膜材料力學性能測試實驗室

　　薄膜材料被廣泛應用于微機械系統的設計中。微機械系統的設計和選材受到加工工藝的限制，大量采用薄膜材料。薄膜材料的力學特性，如彈性模量、殘余應力、泊松比、斷裂強度、疲勞強度等，是決定MEMS 元件性能的重要參數，是微機械設計中不可缺少的數據。薄膜材料與塊狀材料的力學特性與性能可能不同，這是由于存在較強的尺寸效應，薄膜材料的力學特性與成膜裝置、成膜條件及熱處理等條件有密切關系，而且微構件的力學特性還難以用常規的方法測試，存在著很多困難。

　　薄膜材料力學性能測試實驗室主要關注薄膜材料的硬度、彈性模量、應力、熱應力、表面粗糙度、臺階高度、吸附力等參數。實驗室擁有的儀器有：X射線殘余應力分析儀、薄膜熱應力測試系統、探針式輪廓儀、納米劃痕測試儀、納米壓痕測試儀、固體表面ZETA電位分析儀等。

　　（5）薄膜材料光學性能測試實驗室

　　光學薄膜是綜合性非常強的工程技術科學的產物。如今，可以毫不夸張地說，人們的生活離不開光學薄膜的應用，無論是在高新技術領域中的精密儀器、顯示器、薄膜太陽能電池的研發還是日常生活當中使用的視聽設備、數碼產品、眼鏡等，光學薄膜材料都得到廣泛的應用。因此，材料的光學特性和光學常數的測定在制備高性能光學薄膜器件中具有十分重要的地位。