快速退火爐RTP-3-01系列采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到極佳的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)起到重要作用。