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TC-Wafer校准仪
TC-Wafer校准仪
TC-wafer校准仪是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。
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碳化硅石墨托盘
碳化硅石墨托盘
碳化硅石墨托盘是快速退火炉RTP系列配件，采用进口等静压石墨精密制造，可有效提高设备的温度均匀性（以嘉仪通RTP-3-08为例，温度均匀性可以从1.5%提升到1.0%）。
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石英样品托架
石英样品托架
石英样品托架是快速退火炉RTP系列配件，采用高纯度石英砂（99.95%）精密制造，高温环境下仍可保持稳定的化学性质。用于承载石墨托盘，也可以直接承载晶圆。适用于1-12英寸快速退火炉。
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红外加热灯管
红外加热灯管
红外加热灯管是快速退火炉RTP系列配件，使用卤素循环设计，响应时间短。可以配合复杂的加热编程，达到精准可控的红外能量输出，满足半导体工业对精确温度与加热区域的严格要求。
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